靶材提純方法

歐凱的目標指出，濺射過程中離子源產生的離子被加速并在高真空中積聚，形成高速能量離子束，轟擊固體表面，并且在離子之間發生動能交換。 固體表面原子。 

固體表面上的原子離開固體，并沉積在基材表面上。 被轟擊的固體是用于通過濺射方法沉積薄膜的原材料，被稱為濺射靶。